(1)开启等离子刻蚀机电源开关、冷却水开关，开氧气(O2)和四氟化碳(CF4)气瓶开关(两小格即可);

  (3)将扩散完、待加工的硅片整齐地叠在一起，在最上面、最下面的硅片上加同规格的塑料薄片，用四氟片压好，盖上盖板，平衡拧紧螺丝，(控制好力度，要压紧，但也不要太过用力，以免压碎硅片)放入离子刻蚀机反应室，对准盖好上盖板;

  (4)打开机械泵，开主抽，开始抽真空，抽到最低，同时开启氧气和四氟化碳，并按工艺条件调节氧气和四氟化碳的流量比例;

  (5)打开射频电源，调节电压到工艺设定条件，真空室开始发出粉红偏白的辉光，再调节C1和C2匹配，使入射功率最大，反射功率最小;

  (8)打开上盖板，取出已去边的硅片，拿开上下塑料薄片，取上、下及中间(每隔10片左右抽一片)的硅片，用万用表检测硅片四个周边电阻值是不是满足工艺规范之要求;

  (9)工作结束后，把硅片夹放回真空室，开主抽，抽一会儿线秒即可)，关主抽，关机械泵，关射频电源和冷却水，关闭氧气和四氟化碳气瓶开关。

  M42系列等离子体刻蚀机具有占地面积小、装片容量大、生产率高等优点。同时，还具有手动/自动功能。除装卸片要人工操作外，其余过程实现了全自动，保证了工艺的准确性和重复性，大大地提高了产品质量。该设备大多数都用在太阳电池周边掺杂硅的刻蚀，也可用于半导体工艺中多晶硅、氮化硅的刻蚀和去胶。

  本光伏设备由反应室、真空系统、送气系统、高频电源、匹配器等部分所组成，见图5.5所示。

  图5.6为等离子体刻蚀机系统示意图。其反应室采用立式结构，射频功率通过电感耦合到反应室内，保证周边刻蚀均匀。真空系统采用主抽和预抽两路抽气，既能保证本底抽空的时间，又能使气氛扰动减小。送气系统通断气均采用电磁阀控制，工艺气体采用质量流量计控制，可靠性高，重复性好。片架可旋转，提高了刻蚀的均匀性。在泵口有一路稀释气体，它可以延长泵的维护周期和常规使用的寿命，在排气出口加有一路N2可使排放尾气达到排放标准。射频电源的功率采取了闭环自动控制，并有阻抗匹配器可保证射频输出功率几乎完全耦合到反应室内。电气控制具有手动/自动控制功能，在手动状态下，能够直接进行真空检漏，不可以进行工艺实验。采用PLC进行工艺自动控制，可靠性高，稳定性高。各电气元器件均采用插装式，便于维修和更换。

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  盛雄激光90W绿光皮秒BC电池大光斑刻蚀设备重磅发布随市场需求的发展，2020年国家关于“碳达峰”“碳中和”一系列要求提出后，太阳能光伏迎来了历史机遇期，光伏PERC电池大扩产，激光设备需求爆发式的增长。国家十四五规划中提出全力发展光伏、锂电等清洁能源，激光加工技术被大范围的应用于已有PERC电池

  制绒的目的是在硅片表明产生绒面面，以减少电池片的反射率，绒面凹凸不平能增加二次反射，改变光程及入射方式。（来源：微信公众号“摩尔光伏”）扩散是为电池片制造心脏，是为电池片制造P-N结，POCl3是当前磷扩散用较多的选择。POCl3为液态磷源，液态磷源扩散具有生产效率较高、稳定性高、制得PN结

  1.1常规刻蚀酸抛设备使用HF/HNO3混合溶液，要达到PERC电池的要求的0.3g以上的减重，平整度抛光度才能满足规定的要求，药耗量增加，成本增加2-3倍。1.2高浓度的含氮、含氟元素排放给废污水处理造成极大地负担，光伏电池制造公司环保压力日益增大，使用碱刻蚀抛光是未来的一种趋势。1.3采用无机碱（KOH/NaOH）在

  刻蚀目的由于在扩散过程中，即使采用背靠背的单面扩散方式，硅片的所有表面（包括边缘）都将不可避免地扩散上磷。PN结的正面所收集到的光生电子会沿着边缘扩散有磷的区域流到PN结的背面，而造成短路，此短路通道等效于降低并联电阻。（来源：微信公众号“摩尔光伏”）经过刻蚀工序，硅片边缘带有的磷将

  扩散过后的下一个工序是刻蚀，由于扩散采用背靠背扩散，硅片的边缘没有遮挡也被扩散上磷（边缘导通状态），太阳能电池PN结的正面所收集到的光生电子会沿着边缘扩散有磷的区域流到PN结的背面，而造成短路，太阳能电池片会因此失效。同时此短路通道等效于降低并联电阻。另外由于在扩散过程中氧的通入，硅

  Schmid选择性发射极刻蚀机最新订单是八月中旬，来自中国的一家主要生产商。可见，成功的制造工艺能激励生产商增加订单。据悉，Schmid集团的选择性发射极技术通过自身出色的运作情况已经证明其为目前市场上最有效的工艺技术。在竞争更高效率的商战中，更多的电池生产商依赖于湿化学工艺；由Schmid湿法机器订单慢慢的变多可见一斑。无论是扩展生产线还是升级现有生产线，Schmid的选择性发射极技术将继续其成功之道。升级现有的生产线，选择工艺技术首要考虑的是此项技术能否取得效益。采访中，我们不难发现到：Schmid的湿化

  成功的制造工艺激励生产商增加订单Schmid集团的选择性发射极技术通过自身出色的运作情况证明其为市场上最有效的工艺技术。在竞争更高效率的战争中，更多的电池生产商依赖于湿化学工艺；由Schmid湿法机器订单慢慢的变多可见一斑。无论是扩展生产线还是升级现有生产线，Schmid的选择性发射极技术继续其成功之道。Schmid选择性发射极刻蚀机最新订单是八月中旬，来自一家中国的主要生产商。升级现有的生产线，选择工艺技术首要考虑的是此项技术能否取得效益。Schmid的湿化学工艺以最小的成本为客户提高明显地竞争优势。以

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  近日，由IntersolarEurope和SolarPowerEurope联合举办的SolarQualitySummitEurope峰会在西班牙巴塞罗那顺利召开。为期两天的大会上，聚集了优质EPC、OM和资产管理服务投资商、金融界、法律顾问等相关从业者，就新型技术开发、欧洲市场分析、项目风险控制等议题展开讨论。上能电气受邀出席，欧洲区销售

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  1月24日，生态环境部部长黄润秋与安提瓜和巴布达卫生、健康、社会转型和环境部部长莫尔温·约瑟夫在京共同签署关于应对气候变化南南合作物资援助项目的谅解备忘录。根据谅解备忘录，中方将向安提瓜和巴布达援助200台3KW户用光伏发电系统和1500套60W太阳能路灯，帮助其提高应对气候变化能力。该项目是落

  近日，美国太阳能制造商CubicPV宣布，将取消在美国开发10GW硅硅片工厂的计划，该公司裁员并裁撤了与美国工厂相关的职位。对于项目中止原因，CubicPV董事会透露，受到硅片价格的急剧下跌和建设成本的飙升的影响。目前，CubicPV将重点转移到生产钙钛矿叠层组件上，致力于解决硅钙钛矿串联的稳定性、可重

  2月18日，南阳市人民政府办公室印发南阳市环境空气质量限期达标行动实施方案（2024—2025年）的通知，通知指出，加快非化石能源发展，以光伏发电、风电为重点，以生物质、抽水蓄能、地热能、氢能等为补充，因地制宜推动可再次生产的能源多元化、协同化发展。优先支持“源网荷储一体化”“风电＋高比例储能”

  2月18日，浙江省发展和改革委员会关于印发2024年浙江省扩大有效投资政策的通知，通知指出，加快清洁能源和新型电力基本的建设。支持可再次生产的能源高水平质量的发展，新增风光800万千瓦以上，以竞争性配置方式推动省管海域风电“应开尽开”，加大深远海风电示范试点力度，实施各类“光伏+”行动，鼓励各个地区结合实际

  韩国电力交易所（KPX）2月13日宣布，韩国将从下个月开始在济州地区试行可再次生产的能源（风能+光伏）竞价上网制度。（来源：微信公众号“东亚能源产业观察”）在之前很长一段时间，为了支持可再次生产的能源项目的建设和发展，韩国电力交易所（KPX）优先以高价购买风能及光伏公司制作的电力。该制度实施后，可再生

  北极星太阳能光伏网获悉，2月8日，重庆市经信委印发《重庆市数字能源低碳城市发展行动方案（2024—2026年）（征求意见稿）》。文件提出，到2026年，全市数字能源低碳城市发展取得明显成效，建设一批具有示范带动作用的标志性项目。完成1000个以上用户侧光伏和储能、虚拟电厂、绿色工厂、绿色交通、绿色

  2月18日，湖南省人民政府发布2024年湖南省政府工作报告，有序实施“碳达峰十大行动”，协同推进降碳、减污、扩绿、增长，促进绿色低碳技术创新和成果转化。抓好郴州国家可持续发展议程创新示范区建设。调整优化产业、能源、交通运输、用地等结构，积极培育清洁能源等绿色低碳产业，加快构建废旧物循环

  日前，重庆经信委印发《重庆市数字能源低碳城市发展行动方案（2024—2026年）（征求意见稿）》。文件提出，到2026年，全市数字能源低碳城市发展取得明显成效，建设一批具有示范带动作用的标志性项目。完成1000个以上用户侧光伏和储能、虚拟电厂、绿色工厂、绿色交通、绿色建筑等领域示范项目，用户侧储

  2月7日，全球光伏行业权威机构InfoLinkConsulting发布2023年电池片全球出货排名，中润光能在长久布局海外渠道与海外扩产后，于2023年跻身电池片出货量排名TOP3，彰显强大的生产制造能力与持续发展势头。此次InfoLinkConsulting发布的报告数据显示，2023年前五电池厂家总出货量达到近182GW，相比去年上半年

  2023年初，欧洲国家逐渐将发展再次生产的能源视为区域安全战略一环，其中又以光伏最显著。然而，因去年上半年市场过度乐观预期全年光伏需求而大量拉货，加上中国厂家销价竞争，导致去年下半年慢慢的出现组件库存堆积问题，组件现货价格也从2023年1月的每瓦0.238美元跌至12月的0.13美元，跌幅近45%，反映出整

  2023年，光伏行业又是创“纪录”的一年。这一年，光伏超越水电，成为全国第二大电源；这一年，光伏新增装机创下历史上最新的记录；但也是这一年，光伏产业链价格跌跌不休，甚至击穿成本线。新年已至，以史为鉴，通过十大数据，北极星总结了2023年的光伏“成绩单”，以飨读者。一、装机依照国家能源局数据，截至

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