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紫外线纳米的光线被称为深紫外线，可用于医院和工厂的空气、水和用具的灭菌。现在常用的低压水银灯是使用这一原理进行灭菌的。但水银对人体和环境具有损害。
等离子体是一种以自由电子和带电离子为主要成分的物质形状，具有极高的电导率，与电磁场存在极强的耦合效果。立命馆大学特聘教授青柳克信带领的研讨小组，在关闭空间中经过电极操控等离子体的量态，成功使其宣布深紫外线。现在开宣布的光源直径约为１５厘米，将光源串并可满意大规模灭菌需求。
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